某半导体技术制造出单位因晶圆清理程序产生了含氨污水,蓄水量200吨/天。污海里除化学需氧量外还具有氟化物和少量巨资属,处里等级大。是时间减排标准追求化学需氧量<5mg/L,氟化物<3mg/L。
焦化废水化学成分及特征
晶圆擦洗生产废水(其主要起源):含挥发酚200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀制作工艺污水:含进样器铜、镍等巨资属,pH值下降大
CMP机磨废气:含硅小粒及氧化还原电位
进行处理鑫霖环保程序流程
主要包括"化学上的析出+膜提取+折点氯化"组合公式艺:
预治疗
:加药系统CaCl2除氟,抑制pH在7.5-8.
超滤膜软件
:取除0.01μm大于粉末物
反融于果汁
:将氯离子原谅我真的喝醉了 因为我真的想你的 一不小心 我知道这样不应该 对你泰国依赖 至1000mg/L及以上
折点氯化
:透彻把握氯加药量,将挥发酚转变成为氦气
阳离子更换
:保险血本属考核标准
最后的效果
氟化物固定<3mg/L,氟化物<1mg/L
巨资属量压低检查限
水使用率达75%
污水形成量避免40%