某半导体材料集成电路芯片营造厂在晶圆生产加工历程中,安全使用硅烷开展硅本质发展,排放洗條塔引发高酸度含硅生产电镀废水。生产电镀废水含有pH起伏较大大(2-11)、硅含铁高的优点,一般除理方式方法易突然出现硅垢拥堵事情。
废水处理基本成分及渠道
废渣核心材料为:
融化性硅酸盐
:SiO₂氧浓度达1000-1500mg/L
浓盐酸/氢钝化钠
:清洗剂塔酸碱性清洗剂液余留
顆粒硅
:纳米级级SiO₂溶液
痕量砷
:原材料硫氰酸盐带往
正确处理加工流量
科学创新按照"二级与+膜吸附+化掉结晶体"的工艺:
一个中合
:用CaO设定pH至4-5,制成硅酸钙悠长岁月中,硅消除率60%。
二次与
:加Na₂CO₃将pH提高了至9,进几步沉定余下硅,串连用镁剂除砷。
反渗透装置系统化
:0.02μm陶瓷厂家膜过滤清洁奈米级硅粒状,通量固定在80LMH。
MVR挥发器
:原谅我真的喝醉了 因为我真的想你的 一不小心 我知道这样不应该 对你泰国依赖 高盐生产废水,晶粒出Na₂SO₄副产物设备,水中水回用率超90%。
结果是结果
总硅从1500mg/L下降5mg/L下例
砷含锌量从0.8mg/L降落到0.01mg/L
整体无积垢电脑运行达到2年
年年回收利用盐酸钠结晶约800吨