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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为85英寸晶圆分娩线服务设施的超蒸馏水体统,经常生产含硅废渣150吨。废渣中虽无血本属,但硅硫含量高易水垢,且功率电阻率需做到18MΩ·cm才可以中水回用。固有除理工学艺没有办法符合新出台的《网络工业化的水污染问题物产生准则》(GB39731-2020)相当产生限制值。 污废水 化学物质优势特点 具体废弃物物 :电解质溶液硅(200-300mg/L)、科粒硅(比表面积0.1-1μm) 个性化的要求 :TOC<10μg/L,硼浓度<5μg/L 地表水性能 :低水的电导率(<50μS/cm)但硅氧化物要素很复杂 办理制作工艺具体流程 创新技术分为"梯级膜分离处理+电去亚铁离子"搭配组合鑫霖环保: 微滤预治疗 :1μm工业陶瓷膜手机拦截大小粒硅,通量恢复80LMH 铝离子传递硅胶粘合剂 :D201大孔树脂胶选取性气体吸附硅酸氧分子 下级RO程序 :第1段收购 率60%,然后段分为高脱硼膜构件 EDI电去阳离子 :交流电高密度2A/m²,一直取除残渣阴离子 太阳光的紫外线消毒杀菌 :254nm分光光度计线使用量40mJ/cm² 技木难点 制作专属阻硅剂(生物碳胺类复合材料物),减缓膜弄脏时间段3倍 EDI接口不断创新流道设计构思,硅取除率加快至99.8% 在线平台硅讲解仪(侧量超范围0.1-500μg/L)变现脱贫调节 行驶效果 经第三个方监测: 总硅从280mg/L调至0.05mg/L 硼含磷量从8μg/L降到0.3μg/L 设备收旧率从原40%的提升至68% 膜更新期限增加至5年,年运动费用减小35%

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