该晶圆研制厂隶属于苏北地方,通常生產8英尺半导体设备晶圆,日访问量电镀废水排放出标准规范量约800吨。是因为生產的过程中实用海量氢佛酸实现晶圆蚀刻,导至电镀废水下氟化物氧浓度高达hg200-300mg/L,远超发达国家排放出标准规范标准规范(10mg/L以內)。
废水处理方法材料及源
焦化废水主要的是来自于三种阶段:
晶圆蚀刻步骤
:含高渗透压氟化物(HF)、氯化铵及少许天价属
化学物质机械装备磨光(CMP)废污水
:含納米级硅颗粒剂、充分络合剂
装置的洗涤生产废水
:含异丙醇、挥发酚等设计物
处置工艺设计生产流程图
通过"耐腐蚀发展+沥青混凝土发展+程度过虑"三阶段治理 软件系统:
两级操作
:加药系统氯化钙和氢阳极氧化钙,建成氟化钙乳浊液,氟化物避开率达85%
特殊处置
:插入PAC(聚合物氯化铝)和PAM(高密度聚乙烯酰胺),删去氢氧化铁态环境破坏物
三阶段正确处理
:采用多有机溶剂滤水器和活性酶炭吸咐,出水量氟化物浓硫酸浓度安稳在8mg/L低于
至关重要产品涵盖:pH智能自动调节系统、斜管沉积池、板框压滤设备(污泥干化脱水过滤)。
不可能特效
品牌正常运作2年监测站数据报告界面显示:
氟化物峰值溶液浓度:7.2mg/L(如果低于国标)
COD消除率:92%
厌氧颗粒污泥水分含量率:≤65%
年回收使用氟化钙副商品约150吨,保持教育无害化使用