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研磨液废水怎么处理|研磨液废水如何处理

大型项目背景图 某大形半导体行业生孩子加工工厂在苏南形的地区,一般生孩子晶圆和心片。在生孩子进程中,晶圆切开和抛光工作周期诱发多研磨机液生活污水,单日污染问题物量约50吨。因为生活污水内带有高酸度透明桌面物、金属件化合物及巧妙添加图片剂,随便污染问题物会对周围环境诱发频发污染问题,工厂肯定需要建没专科工作措施。 焦化废水材料及来原 粉磨液废液具体来原于晶圆代加工中的物理化学自动化设备打蜡 (CMP)生产工艺,具体被污染的物是指: 悬浮按钮顆粒物 :二腐蚀硅、腐蚀铝等研磨设备粒状,粒度分布在0.1-1μm,氧化还原电位高达模型2000mg/L。 彩石铝离子 :铜、铁、锌等,出自于打磨抛光垫轮胎磨损及晶圆漆层金屬层,铜阴阳离子有机废气浓度约50mg/L。 有机酸生成剂 :涵盖表面能催化表活剂、脱硫剂等,COD值在800-1200mg/L。 耐酸偏碱类物质 :pH值下跌大,大部分在2-11相互。 加工制作工艺方法 对於生活污水性状,利用“预除理+生化学+的深度除理”组合名字工艺设计: 调接池 :均衡性饮用水质发电量,使用酸碱平衡改善pH至普通。 水泥混凝土放置 :加药PAC(聚合物氯化铝)和PAM(聚炳烯酰胺),的还原飘浮物和胶体溶液,沉降后SS的还原率>90%。 催化剂的作用被氧化 :选择Fenton化学试剂(H₂O₂+Fe²⁺)分解有机化学加上剂,COD我们要除率达60%。 菌物净化处理 :MBR膜动物化学反应釜进一步推动骤吸附已满有机化学物,COD降为100mg/L一下。 铝离子调换 :专门的硅胶粘合剂活性炭吸附铜阴离子,出水量铜浓度<0.5mg/L。 砂滤+活性酶类炭油烟净化器 :确保安全生产留水清冽,达到了《将污水终合产生规范标准》(GB8978-1996)二级规范标准。 最终能够作用 体系正常运作平衡后: SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阴离子<0.3mg/L。 造纸生产废水处理率达40%,剩下的不合格排卸物,年缩减生产废水排卸物1.5万吨。 加工资金约15元/吨,远如果低于行业中平均水平。

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